| 英文名稱 | (4-cyclohexylphenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate |
|---|---|
| 中文名稱 | 電子級 全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽 |
| CAS號 | 425670-64-0 |
| 產(chǎn)品編號 | YH82007 |
| 分子式 | C28H25F9O3S2 |
| 分子量 | 644.61 |
產(chǎn)品中心
| 英文名稱 | (4-cyclohexylphenyl)diphenylsulfonium 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate |
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| 中文名稱 | 電子級 全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽 |
| CAS號 | 425670-64-0 |
| 產(chǎn)品編號 | YH82007 |
| 分子式 | C28H25F9O3S2 |
| 分子量 | 644.61 |
電子級全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽是一種高純度光敏化合物，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻膠材料和微電子制造。該化合物以其優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和光響應(yīng)性能滿足先進工藝的嚴(yán)苛需求，適用于深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻技術(shù)。
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【物理性質(zhì)】
基本信息
（1）分子式：C28H25F9O3S2
（2）分子量：644.61 g/mol
外觀與純度
（1）外觀：白色至淺黃色結(jié)晶粉末。
（2）純度：≥99.5%（電子級）。
物理參數(shù)
（1）熔點：150–180°C。
（2）溶解性：易溶于乙腈、丙酮等極性有機溶劑。
（3）熱穩(wěn)定性：高溫條件下不易分解。
（4）光化學(xué)活性：在深紫外光區(qū)域具有良好的光敏響應(yīng)。
【應(yīng)用領(lǐng)域】
半導(dǎo)體光刻工藝
（1）用作光刻膠中的陽離子光引發(fā)劑，增強光刻膠的化學(xué)放大效果。
（2）適用于深紫外和極紫外工藝中的高精度光刻應(yīng)用。
電子封裝材料
（1）在電子封裝中用作抗蝕劑，提高絕緣性能與耐熱性能。
（2）支持高密度集成電路（IC）封裝的加工需求。
功能性涂層開發(fā)
（1）用于光學(xué)涂層材料，提升耐候性和光學(xué)透明度。
（2）在顯示屏行業(yè)中用于生產(chǎn)低反射、高透光率的保護涂層。
【總結(jié)】
電子級全氟丁基磺酸-4-環(huán)己基苯基二苯基硫鎓鹽因其高純度和優(yōu)異的光化學(xué)性能，是現(xiàn)代半導(dǎo)體制造與光刻技術(shù)的重要基礎(chǔ)材料，為提升生產(chǎn)效率和精密度提供了保障。
