電子級(jí)二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽是一種高效光酸生成劑，專為高精度光刻工藝設(shè)計(jì)。該化合物具有優(yōu)異的光敏性和化學(xué)穩(wěn)定性，能夠在深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻工藝中提供卓越的性能。其獨(dú)特的分子結(jié)構(gòu)，結(jié)合金剛烷基與锍鹽功能團(tuán)，確保高效的光反應(yīng)與材料穩(wěn)定性，適用于先進(jìn)半導(dǎo)體與微納制造工藝。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

（1）化學(xué)名稱：二氟-(3-羥基-金剛烷-1-基甲氧基羰基)甲磺酸-(4-叔丁基苯基)二苯基锍鹽。

（2）分子式：C₃₅H₄₀F₂O₆S₂

（3）分子量：658.82 g/mol

外觀與溶解性

（1）外觀：白色或淺黃色結(jié)晶粉末。

（2）溶解性：易溶于常見有機(jī)溶劑，如甲醇、乙腈和丙酮，溶解性能優(yōu)異。

熱穩(wěn)定性與純度

（1）熱穩(wěn)定性：在200℃以下保持良好的化學(xué)穩(wěn)定性。

（2）純度：≥99.9%，符合電子級(jí)化學(xué)品要求，適配先進(jìn)制造工藝。

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠材料

（1）作為DUV和EUV光刻膠的光酸生成劑，提高光刻分辨率和加工精度。

（2）適用于先進(jìn)光刻工藝，助力高端芯片制造。

半導(dǎo)體制造

（1）在晶圓加工中提供高效的光敏反應(yīng)，支持高精度的圖形轉(zhuǎn)移。

（2）適用于7nm及以下先進(jìn)制程工藝。

光電子與顯示技術(shù)

（1）支持高分辨率顯示器制造的光刻需求，優(yōu)化圖形精度。

（2）應(yīng)用于光電子器件生產(chǎn)，提升器件性能與可靠性。